硅烷是一類硅氫有機(jī)物的總稱，包括甲硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)和一些異構(gòu)或者更高級的烷類。其中應(yīng)用最多的是甲硅烷，因此，通常所說的硅烷是指甲硅烷。這是一種才常溫下無色、有刺激性氣味的高危易燃易爆氣體。因其可制作高純度硅及含硅化合物，目前被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子制膜中，并擴(kuò)展應(yīng)用到鋼鐵、機(jī)械、化工和光學(xué)等領(lǐng)域中，每年因此而消耗的硅烷量巨大。

硅烷氣體傳感器采用了電化學(xué)的檢測原理。傳感器內(nèi)部有一對電極并構(gòu)成電池元件的形式，當(dāng)被測氣體到達(dá)相應(yīng)的反應(yīng)電極(感應(yīng)電極)時，發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并形成一內(nèi)部電流。通過測量該與被測氣體濃度成比例關(guān)系的電流便可得到氣體的濃度值。為提高測量穩(wěn)定性，還專門增加了一參考電極，與外部穩(wěn)壓電路一起可以起到穩(wěn)定感應(yīng)電極電勢中的作用。此外，傳感器專家網(wǎng)硅烷氣體傳感器采用了擴(kuò)散柵欄的設(shè)計(jì)形式，保證進(jìn)入傳感器的氣體都能夠與感應(yīng)電極反應(yīng)，并保持電極的化學(xué)活性，使得傳感器具有良好的使用壽命和溫度穩(wěn)定性。

硅烷傳感器參考資料↓

 硅烷傳感器.pdf