描述 ：
AWM2000 系列微橋氣體質(zhì)量流量傳感器為無源器件，包含兩個惠斯頓電橋。發(fā)熱控制電路和傳感橋供電電路在相應操作中均需使用。這兩套電路在傳感器中未裝配，應用中需另加。圖 3 中的差分放大器作為傳感橋的有效接口，可有助提高增益和調(diào)節(jié)傳感器輸出電壓偏移。
特點：
● 雙向傳感功能
● 實際氣體質(zhì)量流量傳感
● 微差壓傳感
AWM2000 系列訂購指南（電壓 10.0 ±0.01 VDC，溫度 25℃條件下的性能特點）
| 目錄 | AWM2100V | AWM2150V | AWM2200V | AWM2300V |
| 流量范圍（滿量程） | ±200 sccm | ±30 sccm |
| ±1000 sccm |
| 壓力范圍（見應用指南 #1） |
|
| ±4.0" H2O (10 mBar) | ±4.0" H2O (10 mBar) |
| 輸出電壓 @ 標定點 | 30 mV @ 100 sccm | 11.8 mV @ 25 sccm | 20 mV @ 2.0" H2O | 50 mV @ 650 sccm |
熱零點偏移，典型值
+25 至 -25℃ , +25 至 85℃ | ±0.20 mV | ±0.20 mV | ±0.20 mV | ±0.20 mV |
熱輸出電壓偏移，最大值
+25 至 -25℃
+25 至 +85℃ | +2.5% Reading
-2.5% Reading | +5% Reading
-5% Reading | +22% Reading (Note 2)
-22% Reading (Note 2) | +5% Reading
-5% Reading |
| 重復性與遲滯性，最大值 | ±0.35% Reading | ±0.35% Reading | ±0.35% Reading | ±1% Reading |
| 最小值 | 典型值 | 最大值 |
|
|
| 激勵電壓 (VDC) (Note 1) | 8.0 | 10±0.01 | 15 |
|
| 功耗 (mW) | - | 30 | 50 |
|
| 零點電壓 (mV) | -1.0 | 0.0 | +1.0 |
|
| 響應時間 (msec) | - | 1,0 | 3.0 |
|
| 共模壓力 (psi) | - | - | 25 |
|
| 傳感器電阻 |
|
|
|
|
| 2 腳 -1 腳 , 6 腳 -1 腳 | - | 5 | - |
|
| 傳感器電流 |
|
|
|
|
| 2 腳 -1 腳 , 6 腳 -1 腳 |
| 0.3 | 0.6 |
|
| 溫度范圍 | 工作溫度 ：-25o 至 +85℃ (-13o 至 +185oF) ；儲存溫度 ：-40o 至 +90℃ (-40o 至 +194oF) |
| 引腳 | 2,54 mm (.100") 中心距，0,635 mm (0.025") 封裝厚度 |
| 重量（克） | 10.8 |
| 沖擊 | 100g 峰值（5 次沖擊，6 軸向） |
注 ：
1. 輸出電壓隨電源電壓成正比變化。
2. 差壓器件的溫漂主要由氣體濃度隨溫度變化而引起。見應用指南 1。
3. 為避免損壞，最大允許流量變化率為 5 SLPM/1.0 sec。
AWM2300V氣體傳感器樣本
氣體流量.pdf
