氣體質(zhì)量流量傳感器
AWM40000 系列
微橋質(zhì)量流量 / 無放大與放大
描述 ：
AWM40000 系列質(zhì)量流量傳感器家族基于可靠的微橋技術(shù)，包括放大信號(hào)調(diào)理設(shè)備類型和無放大僅傳感設(shè)備類型。使用無放大設(shè)備類型時(shí)（AWM42150VH 和 AWM42300V），圖 1 所示的發(fā)熱控制電路和圖 2 所示的傳感橋供電電路在相應(yīng)操作中均需使用。這兩套電路在傳感器中未裝配，應(yīng)用中需另加。圖 3 中的差分放大器電路可有助提高輸出增益和 / 或調(diào)節(jié)傳感器輸出電壓偏移（見公式 1）。
放大設(shè)備類型（AWM43300V 和 AWM43600V）可用于提高輸出增益和調(diào)節(jié)電壓偏移。差分放大器電路、發(fā)熱控制電路和傳感橋供電電路在放大傳感器中均已裝配。
特點(diǎn)：
● 歧管安裝 /o 型圈密封
● 陶瓷流量管（無引氣管），0-1000 sccm
● 塑料流量管，0-6 SLPM
● 高共模壓力（陶瓷流量管時(shí)適用，150 psi）
● 工作溫度可達(dá) 125℃（無放大時(shí)適用）
● 零點(diǎn)和滿量程時(shí)均保持高穩(wěn)定性
AWM40000 系列訂購(gòu)指南（電壓 10.0 ±0.01 VDC，溫度 25℃條件下的性能特點(diǎn)）
| 目錄 | AWM42150VH | AWM42300V | AWM2200V | AWM2300V |
| 流量范圍（滿量程） | ±25 sccm | ±1000 sccm | +1000 sccm | +6 SLPM |
| 輸出電壓 @ 標(biāo)定點(diǎn) | 8.5 mV ±1.5 mV
@ 25 sccm | 54.7 mV ±3.7 mV DC
@ 1000 sccm | 5 V ±0.15 VDC
@ 1000 sccm | 5 V ±0.15 VDC
@ 6 SLPM |
| 零點(diǎn) | 0.0 ±1.0 mVDC | 0.0 ±1.5 mVDC | 1.0 ±0.05 VDC | 1.0 ±0.05 VDC |
熱零點(diǎn)偏移，典型值
+25 至 -25℃ , +25 至 85℃ | ±0.20 mVDC | ±0.20 mVDC | ±0.025 VDC | ±0.025 VDC |
熱輸出電壓偏移，最大值
+25 至 -25℃
+25 至 +85℃ | +2.5% Reading 典型值
-2.5% Reading 典型值 | +2.5% Reading 最大值
-2.5% Reading 最大值 | -5.0% Reading 最大值
+6.0% Reading 最大值 | -6.0% Reading 最大值
+6.0% Reading 最大值 |
| 功耗 (mW) | 60（最大值） | 60（最大值） | 60（最大值） | 75（最大值） |
| 重復(fù)性與遲滯性，最大值 | ±0.35% Reading (3) | ±0.50% Reading | ±0.50% Reading | ±1.00% Reading |
| 壓降 @ 滿量程（英寸水柱） | 0.008" H2O ( 典型值 ) | 1.02 ( 典型值 ) | 1.02 ( 典型值 ) | 8.00 ( 典型值 ) |
| 激勵(lì)電壓 (VDC) | 8.0 10±0.01 15 |
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| 響應(yīng)時(shí)間 (msec)（最大值） | - 1,0 3.0 (Note 1) |
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| 共模壓力 (psi) | - - 150 psi (10 Bar) 25 psi (1.7 Bar) |
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| 輸出負(fù)載 | NPN（沉流）：10 mA
PNP（源流）：20 mA |
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| 溫度范圍 | 工作溫度 ：-40o 至 +125℃ (-40o 至 +251oF) ；
儲(chǔ)存溫度 ：-40o 至 +125℃ (-40o 至 +251oF)
工作溫度 ：-25o 至 +80℃ (-40o 至 +185oF) ；
儲(chǔ)存溫度 ：-40o 至 +90℃ (-40o 至 +194oF) |
| 標(biāo)定氣體 | 氮?dú)?/span> |
| 比率誤差 | ±0.30% Reading |
| 重量（克） | 14 g 11 g |
| 沖擊 | 100g 峰值（5 次沖擊，6 軸向） |
| 引腳 | 2,54 mm(.100") 中心距，0,635 mm (0.025") 封裝厚度 |
注 ：
1. 從 10-90% 響應(yīng)時(shí)間一般為 1 毫秒。
2. 重復(fù)性與遲滯性容差反映了測(cè)量設(shè)備固有的不精確度。
3. 為避免損壞，最大允許流量變化率為 5.0 SLPM/1.0 sec。
AWM40000 系列氣體質(zhì)量流量傳感器
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