產(chǎn)品描述

AWM40000系列氣流傳感器基于成熟的微橋技術(shù)，包括非放大傳感器設(shè)備和放大信號調(diào)節(jié)設(shè)備。微橋式質(zhì)量氣流傳感器的工作原理是傳熱理論。大量氣流被引導穿過傳感元件的表面。輸出電壓的變化正比于空氣質(zhì)量或其他氣體流量通過進出口端口的包裝。該傳感器具有基于先進微結(jié)構(gòu)技術(shù)的獨特硅芯片。它由薄膜、含加熱器的熱隔離橋式結(jié)構(gòu)和溫度傳感元件組成。橋式結(jié)構(gòu)對芯片上的空氣或其他氣體的流動提供了靈敏和快速的響應(yīng)。位于中央加熱元件兩側(cè)的雙傳感元件指示流動方向和流速。特殊設(shè)計的外殼精確地指導和控制氣流通過微結(jié)構(gòu)傳感元件。封裝的機械設(shè)計使其易于安裝到印刷電路板上。激光修整，厚膜和薄膜電阻器提供一致的互換性從一個設(shè)備到下一個。微橋質(zhì)量氣流傳感器使用溫度敏感電阻沉積在氮化硅薄膜內(nèi)。它們以兩座橋的形式懸浮在硅的蝕刻腔上。該芯片位于精確尺寸的氣流通道中，以提供可重復的流動響應(yīng)。通過蝕刻流量傳感器橋下面的腔空間，可以實現(xiàn)加熱器和感測電阻的高效熱隔離。微橋質(zhì)量氣流傳感器的小尺寸和熱隔離特性使其具有極快的響應(yīng)速度和對氣流的高靈敏度。雙惠斯通電橋控制氣流測量-一個提供閉環(huán)加熱器控制，另一個包含雙傳感元件。加熱器電路通過提供與質(zhì)量流量成比例的輸出，最大限度地減少了由于環(huán)境溫度變化引起的位移。電路保持加熱器溫度在一個恒定的差值（160°C）高于環(huán)境空氣溫度，這是由芯片上的熱量下沉電阻感測。該裝置的比率電壓輸出對應(yīng)于惠斯通電橋電路上的差分電壓。未放大的版本需要加熱器控制電路（圖2）和傳感橋供電電路（圖3）來操作每個規(guī)格。這兩個電路不在傳感器上，必須在應(yīng)用中提供。差分放大電路（圖4）可用于為傳感器輸出提供輸出增益和/或引入電壓偏置（圖5）。放大版本可用于增加輸出增益和引入電壓偏置。圖2、圖3和圖4所示電路均為板載電路。

特性

•精密硅微加工

•對低流量的敏感性（0.1 SCCM至6 SLPM）

•適用于更高流量的使用

•低功耗允許在便攜式設(shè)備和電池供電的應(yīng)用中使用

•模擬輸出

•標準2,54毫米[0.10英寸]安裝中心

•激光切邊互換性

•準確感應(yīng)低壓

應(yīng)用程序

•醫(yī)學

呼吸器和呼吸機

氧氣濃縮器和保存器

麻醉機

•工業(yè)

暖通空調(diào)阻尼器控制

氣體分析儀

低真空控制

過程控制

檢漏設(shè)備

通風頭罩

燃氣計量

色譜法

AWM43600V-2氣體流量樣冊

氣體流量.pdf